Magnetfeldsensorik
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS
3D-Magnetfeldsensorik in einem Chip
Magnetfelder aller drei Raumkomponenten mit einem Sensorchip zu erfassen, ermöglicht die integrierte 3D-Hall-Sensor-Technologie HallinOne®. So können berührungslose Positionsmesssysteme kostengünstig realisiert werden. Während konventionelle Hallsensoren ausschließlich für senkrecht zur Chipoberfläche gelegene Magnetfelder empfindlich sind, misst der Sensor zusätzlich Magnetfelder, die parallel zur Chipoberfläche ausgerichtet sind.
Für jede der drei magnetischen Achsen verfügt der Sensorchip über einen eigenen Sensor. Die Digitalisierung der Messwerte ist auf dem Sensorchip integriert. Es ist damit möglich, den Chip direkt an einen Rechner oder Mikrocontroller anzuschließen. Der HallinOne®-Sensor kann in großer Stückzahl ohne zusätzliche Prozessschritte kostengünstig auf Standard-CMOS-Technologie gefertigt werden. Dies führt zu einem günstigen Serienpreis.
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