Design von optischen Sensoren und Sensorsystemen
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS
Optische Sensoren in CMOS-Technologie
Für optische Sensorsysteme entwickeln wir optoelektronische und optische Komponenten und führen auch die Systemintegration durch. Wir integrieren Photosensoren zusammen mit der Signalverarbeitung in Standard-CMOS-Prozessen. Diese können als Einzelsensoren oder auch als Zeilen- oder Bildsensoren ausgeführt sein.
Als Besonderheit bieten wir die kundenspezifische Realisierung von Farb- und Polarisationssensoren an. Dies wird durch Nanostrukturierung der im CMOS-Prozess vorhandenen Metalllagen erreicht. Für Anwendungen in der Spektroskopie entwerfen wir die angepasste Optik für Beleuchtung und Signalaufnahme und bauen Prototypen auf. Neben der Signalvorverarbeitung gehört dazu auch die Signalauswertung und die Entwicklung der entsprechenden Software.
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