Optische Prüfsysteme

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS

Lichtschnittmesstechnik

Funktionsprinzip

Lichtschnitt

Beim Lichtschnittverfahren wird eine Lichtlinie auf das Prüfobjekt projiziert und diese mit einer Spezialkamera unter einem Winkel zur Projektionsrichtung aufgezeichnet. Aus dem Verlauf der Lichtlinie wird ein Höhenprofil berechnet. Durch Bewegung des Objektes durch die Lichtlinie kann die gesamte Oberfläche erfasst werden. Abschattungen durch Strukturen können durch Verwendung mehrerer Kameras oder Laser vermieden werden.

Das Lichtschnittverfahren ist für die schnelle dreidimensionale Erfassung der Oberfläche eines Prüfobjekts hervorragend geeignet. Selbst bei einer lateralen Auflösung von 0,05 mm sind Geschwindigkeiten im Bereich 1 m/s realisierbar, wobei die Höhenauflösung im Mikrometerbereich liegen kann. Durch geeignete Vorverarbeitung der Daten können Strukturen detektiert werden, deren Höhenabweichung weniger als 1 µm beträgt.

Unsere Leistungen

Wir analysieren gemeinsam mit Ihnen Ihr Messproblem und entwickeln geeignete Lösungsansätze. Für komplexe Prüfaufgaben führen wir in Ihrem Auftrag eine entsprechende Studie zur Ermittlung der technischen Rahmenbedingungen durch.

Abhängig von den Anforderungen an Auflösung, Messbereich und Messgeschwindigkeit konstruieren und fertigen wir einen optimal an die Aufgabe angepassten Prototyp-Messkopf.

Unser Leistungsspektrum reicht je nach Anforderung von der kompletten Systemsoftware über die kundenspezifische Algorithmik zur Lösung der Prüfaufgabe bis zum schlüsselfertigen Prüfsystem für den Dauereinsatz im industriellen Umfeld. Eine nahtlose Integration in bestehende Fertigungssysteme ist durch die Kopplung an vorhandene übergeordnete Maschinensteuerungen oder Betriebsdatenerfassungssysteme problemlos möglich.