CT und Messtechnik

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS

Datenauswertung

Datenauswertung_Mess

Fehlerkorrektur und Nachberechnung sind die beherrschenden Faktoren bei der Datenauswertung.








Auswertungen am Messobjekt

Abhängig von der Messaufgabe werden Maß, Form und Lage am CT-Datensatz bestimmt:

  • Messen von Einzelmaßen (Abstände, Winkel, etc.)

Datenauswertung_Messobj

  • Einpassen von Regelgeometrien (Zylinder, Kugeln, Ebene)

Datenauswertung_Messobj
Durch das Einpassen von Regelgeometrien kann die Durchmesserabweichung, Formabweichung bestimmt werden.

  • Soll-Ist-Vergleich mit CAD- oder Referenzdatensatz

Datenauswertung_IstIst_taktil

Skalierung

Zur Korrektur systematischer Fehler, die aufgrund der nur näherungsweise bekannten Abbildungseigenschaften auftreten können, wird eine Skalierung der Voxelgröße durchgeführt. Anhand taktil bekannter Kenngrößen (z. B. Kugelabstandsabweichung) von Prüfkörpern/Referenzkörpern (z. B. Kugelstab), die im Messvolumen mit aufgenommen werden, kann die tatsächliche Voxelgröße berechnet und angepasst werden. Die Messgenauigkeit kann dadurch im Einzelfall um bis zu 40% gesteigert werden.

Bestimmung von Kenngrößen beim dimensionellen Messen

Datenauswertung_Kenngroess

Mit realen und virtuellen Prüfkörpern wie Kugelkalottenwürfeln oder -platten besteht die Möglichkeit, die globalen und lokalen Messeigenschaften von CT-Systemen anhand von Kenngrößen, wie sie aus der taktilen Koordinatenmesstechnik bekannt sind, zu charakterisieren bzw. optimieren.