CT und Messtechnik
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS
Messunsicherheit
Entscheidend für die Genauigkeit der Messung ist die Bestimmung der Messunsicherheit.
Aufgabenspezifische Messunsicherheit
Ein Messergebnis ohne Messunsicherheit (MU) ist unvollständig. Um eine aufgabenspezifische MU zu ermitteln, kann diese anhand von 20 Serienmessungen über die experimentelle Methode (DIN ISO/TS 15530-3) bestimmt werden. Richtlinien und Normen für die Bestimmung der Messunsicherheit in der CT werden von unabhängigen Einrichtungen (PTB) mit entwickelt und getragen.
Die aufgabenspezifische MU kann auf Anfrage im Rahmen einer Machbarkeitsstudie mit der experimentellen Methode ermittelt werden.
Untersuchung von Einflussgrößen beim dimensionellen Messen
Reale CT-Messungen unterliegen vielfältigen Effekten und Einflüssen, die sich direkt auf das Ergebnis des dimensionellen Messens auswirken. Mit Hilfe von taktil kalibrierten Prüfkörpern und dem Einsatz von Simulationsdaten ist es möglich, diese systematisch zu untersuchen.
Analytische CT-Simulation mit Scorpius XLab®
Die am EZRT entwickelte CT-Simulationssoftware basiert auf einem Strahlverfolgungsansatz. Die Abschwächung des Röntgenspektrums infolge des Materialdurchtritts wird von der Quelle bis zum Detektor verfolgt und analytisch berechnet.
Die Anwendungsgebiete der CT-Simulation sind:
- Unterstützung bei der Mess- und Aufnahmeplanung
- Objektive Ermittlung der optimalen Aufnahmeparameter
- Identifizierung und Untersuchung von Einflussgrößen
- Messunsicherheitsabschätzungen
- Einsatz für Schulungszwecke



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