Systementwicklung

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS

Ultrafeinfokus-Systementwicklung

Waver

Röntgenprüfsysteme nach dem Stand der Technik können heute vielfältige industrielle Aufgabenstellungen lösen, wie z.B.







  • Vollautomatische Leichtmetallräderprüfung (anerkannt von BMW und Audi)
  • Vollautomatische Lötstelleninspektion
  • Tomosynthese an MikroBall Grid Arrays oder flip chips
  • Industrielle und wissenschaftliche Computertomographie    

Die Grenzen solcher Systeme liegen bei einem theoretischen Auflösungsvermögen von einigen µm. Die fortschreitende Miniaturisierung in der Halbleiterindustrie wie auch in der Mechanik erfordert jedoch zunehmend höher auflösende Messsysteme.

Die Entwicklungsgruppe Ultrafeinfokus-Systeme erarbeitet zusammen mit Partnern aus Industrie und Forschung neue Methoden, um den Bereich der Sub-µ-Dimension auch für die radioskopische Messtechnik zu erschließen. Ziel dieser Arbeiten ist die Entwicklung eines CT-Systems mit einigen 100 nm Auflösung, womit dieses Verfahren erstmals radioskopische Untersuchungen z.B. an dreidimensionalen Schaltungsstrukturen direkt auf Wafern (Vertical Integrated Circuits, VIC) ermöglichen soll.