Optische Nanostrukturen in CMOS-Technologie

Dieses Kompetenzfeld »Optische Nanostrukturen in CMOS-Technologie« umfasst die Fähigkeit, die in einem modernen Halbleiterprozess verwendeten Metallebenen im Nanometerbereich so zu strukturieren, dass daraus komplexe Farb- und/oder Polarisationssensoren preisgünstig hergestellt werden können.
Dazu sind ein Verständnis der Oberflächen-Plasmoneneffekte auf den CMOS-relevanten Metallen und Materialien sowie das Optik-Know-how zum Entwurf von Filtern notwendig und vorhanden.

Informationen zu unserem Leistungsangebot finden Sie hier.

Distributionspreise verschiedener multispektraler Sensoren im Vergleich zu den Kosten unter Verwendung der nanospektralen Filtertechnologie

Technische Eigenschaften und deren Vorteile

Eigenschaften

Vorteile

Realisierung vieler multispektraler Kanäle auf einem Chip,
mit nur 2 zusätzlichen fotolithografischen Prozesschritten

Single-Source-Fertigung

Konstante Prozesskosten für eine willkürliche Anzahl spektraler Kanäle

Metallfiltermaterial

Temperaturbeständigkeit

Einfaches Design spezifischer spektraler Verhaltensweisen

Anwendungsspezifische Filtereigenschaften

Anwendbar auf bereits vorhandene Einzel- oder Bildsensoren

Einfache Umsetzung in Standardprodukte

Umsetzung in 2 verschiedenen CMOS Fertigungsanlagen

Unabhängiges Dienstleistungsdesign und Lieferketten

Schnelle Serienüberführung

Anwendungsmöglichkeiten und Technologiepotenzial

Beleuchtungssysteme

 

  • Multispektrale Umgebungslichtsensoren
  • Mehr spektrale Information im Vergleich zu Sensoren mit drei Kanälen
  • Integrierte Signalverarbeitung und Standard-Interface I2C oder SPI

Chip Size Spektrometer

 

  • Miniaturisierte Multispektralsensoren zur Analyse von Gasen und Flüssigkeiten
  • Farbsensoren für industrielle Automatisierung und Anwendungen im Automobilbereich
  • Landwirtschaft und Smart Farming

Multispektrale Bildgebung

  • Bildsensoren mit spektralen Filtern auf Pixel-Ebene
  • Anwendung von Filtern auf Standard-Produkte neuer Bildsensoren
  • Minimale Pixelgröße: 5 μm