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NIRVANA

MEMS-Inertialsensoren werden zur Erfassung von Bewegungen (Beschleunigung, Drehraten) und Magnetfeldern eingesetzt. Die optimale Funktion kann dabei nur erreicht werden, wenn das mikromechanische Sensorelement (MEMS) und die elektronische Auswertung in Form eines ASICs ideal aufeinander abgestimmt sind. In diesem Forschungsprojekt wurden neuartige MEMS-Sensoren entwickelt, die im Gegensatz zu vielen am Markt verfügbaren Sensoren piezo-resistive Silizium-Nanodrähte verwenden. Dieser Ansatz ermöglicht die Verkleinerung des Sensorelements und somit eine Kostenreduktion im Vergleich zu kapazitiven MEMS.

Auf Basis der umfangreichen Erfahrung des Fraunhofer IIS im Bereich der Sensorsignalauswertung wurden anwendungsspezifische integrierte Schaltungen für diese neuartigen MEMS-Sensoren entwickelt. Erst durch die Kombination von MEMS-Sensorelement und dieser innovativen Auswerteschaltung konnten sehr stromsparende Lösungen für den Einsatz in Smartphones realisiert werden. Eine weitergehende Optimierung des Systems mit dem Fokus auf einen minimalen Energieverbrauch eröffnet neue Einsatzmöglichkeiten im medizinischen Bereich. Im Rahmen dieses Projektes wurde ein Sensorsystem für Vestibulär-Implantate bei gestörtem Gleichgewichtssystem entwickelt.

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