XRM-II nanoCT

Das “XRM-II nanoCT” ist ein auf einem Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (REM) basierendes Nano CT System. Ein nadelförmiges Reflexionstarget – installiert im Inneren der Probenkammer – kombiniert mit der Elektronenoptik des REM, erzeugen einen Röntgen-Brennfleck im Größenbereich von 100nm. Die Detektion der so erzeugten Strahlung erfolgt durch einen direkt konvertierenden CdTe-Detektor. Mit Hilfe dieses CT Systems kann die Vergrößerung frei zwischen 100x und 2000x eingestellt werden, was im resultierenden Volumen Voxelgrößen zwischen 600nm und 30nm entspricht.

Kombination von REM und Nano CT

© Fraunhofer IIS
Nano CT; EDSX; EDX (Cer); EDX (Zirkonum) Beispiel von Nano CT und EDX Messungen eines Drei-Wege-Katalysators

Neben dem Nano CT Aufbau kann die komplette Funktionalität des REM weiterverwendet werden. Damit steht dem Anwender die Kombination von Röntgen- und Elektronenmikroskopie in einem Gerät zur Verfügung. Ein zusätzlicher EDX Detektor für das REM erlaubt es daneben zusätzlich die Materialien der untersichten Probe unterscheidbar zu machen.